осаждение тонких плёнок — plonųjų sluoksnių nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. thin film deposition vok. Dünnschichtabscheidung, f rus. осаждение тонких плёнок, n pranc. déposition de film mince, f; déposition des couches minces, f … Radioelektronikos terminų žodynas
Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы — Химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений (анг. Metalorganic chemical vapour deposition) метод получения материалов, в том числе эпитаксиального роста полупроводников, путём термического разложения… … Википедия
Атомно-слоевое осаждение — Последовательное осаждение реагентов в цикле реакции … Википедия
физическое осаждение из газовой фазы — Термин физическое осаждение из газовой фазы Термин на английском physical vapour deposition Синонимы PVD процесс Аббревиатуры PVD Связанные термины химическое осаждение из паров металлорганических соединений Определение технология нанесения… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
химическое осаждение из газовой фазы — получение твёрдых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических плёнок (например, в планарной технологии) … Энциклопедический словарь
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твёрдых в в с помощью хим. реакций, в к рых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллич. плёнок (напр., в планарной технологии), нитевидных… … Естествознание. Энциклопедический словарь
ПЛЁНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ — 1) тонкоплёночная технология совокупность способов получения и обработки тонких плёнок металлов, диэлектриков, ПП при изготовлении транзисторов, диодов, резисторов, конденсаторов и др. влементов интегральных схем, а также при иэготовленни ПП… … Большой энциклопедический политехнический словарь
CVD-процесс — Плазменная установка ускоряет рост углеродных нанотрубок в лабораторной установке PECVD. CVD процесс (англ. Chemical vapor deposition химическое парофазное осаждение) хим … Википедия
Вакуумно-дуговое нанесение покрытий — (катодно дуговое осаждение) это физический метод нанесения покрытий (тонких плёнок) в вакууме, путём конденсации на подложку (изделие, деталь) материала из плазменных потоков, генерируемых на катоде мишени в катодном пятне вакуумной дуги… … Википедия
Молекулярно-пучковая эпитаксия — Система молекулярно пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслон … Википедия